Einsatzbereiche
Komplett-Bedampfungsanlage
zur Wafer-Metallisierung in der Halbleitertechnik
- MacroTech VBA3-VI-1400
Umrüstung von Aufdampfanlagen
z.B. für Brillengläser und Feinoptik
- Balzers BAK 640, 760, BAV 1250,
- Leybold A 700, A 1104, Satis 725 u.a.
- Umrüstung von Sputteranlagen
z.B. Wafer-Metallisierung in der Halbleitertechnik incl. Wafer-Handling, z.B. Folienbeschichtung in der Medizintechnik
- Leybold Z 590, Balzers LLS 801, Heraeus
Band-Sputteranlage
für die Solarindustrie
- Bluetec
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